主要技术参数:

        处理气量:0.5-200Nm3/H

        原料氮纯度:≥97%

        成品氮气残氧量:≤1PPM

        H2含量(JHA)1PPM-2%可控

        CO2含量(JHB)5PPM-0.5%可控

        露点:≤-60℃